第243章 超紫外激光!波长1.5nm!功率2000w(2 / 2)
听上去简单,其实却是人类历史上最复杂最精密的机台,没有之一。
放眼全球,能做到紫外的,只有asml,佳能,尼康三家,而能做到极紫外的,则只有荷兰asml,其余所有竞争对手,全部惨遭淘汰,消失在历史的长河中。
“开始!”
长春光机所的所长叫杜维明,随着他一声令下,全封闭绝尘实验室里,光刻机开始运行,大概也就十几秒钟过后,一片十二寸硅晶圆就被送下了机台。
其实,光刻机工作速度是很快的,每小时出片两百张以上,完全不存在任何问题。
制约产能的主要是沉积设备,pvd和cvd这类,其次是刻蚀设备包括icp,ccp,die这几种机台,另外热处理设备工作效率也十分感人。
一条月产能一万片十二寸晶圆的fab制造线,光刻机或许只有四五台,但刻蚀机,却起码要有六十台起步,如果想要追求高效率,甚至要堆一百台以上的刻蚀机。
目前,中微半导体的介质刻蚀技术,硅通孔刻蚀技术,位列全球前三,全球最牛的半导体代工厂台积电,生产线上就有成百上千台来自中微的刻蚀机,算是国产半导体行业里比较争气的存在。
“成了!”
“一次出片成功,比我预想的还要顺利!”
“不愧是昆仑集团啊,临时加进来的光学系统,竟然和旧机台配合的这么好!”
实验室里,穿着全套无尘服的工程师,取下十二寸硅晶圆,仔细看,会发现上面出现了密密麻麻,无比繁杂的线条,灯光下亮晶晶的,甚是喜人。 ↑返回顶部↑
放眼全球,能做到紫外的,只有asml,佳能,尼康三家,而能做到极紫外的,则只有荷兰asml,其余所有竞争对手,全部惨遭淘汰,消失在历史的长河中。
“开始!”
长春光机所的所长叫杜维明,随着他一声令下,全封闭绝尘实验室里,光刻机开始运行,大概也就十几秒钟过后,一片十二寸硅晶圆就被送下了机台。
其实,光刻机工作速度是很快的,每小时出片两百张以上,完全不存在任何问题。
制约产能的主要是沉积设备,pvd和cvd这类,其次是刻蚀设备包括icp,ccp,die这几种机台,另外热处理设备工作效率也十分感人。
一条月产能一万片十二寸晶圆的fab制造线,光刻机或许只有四五台,但刻蚀机,却起码要有六十台起步,如果想要追求高效率,甚至要堆一百台以上的刻蚀机。
目前,中微半导体的介质刻蚀技术,硅通孔刻蚀技术,位列全球前三,全球最牛的半导体代工厂台积电,生产线上就有成百上千台来自中微的刻蚀机,算是国产半导体行业里比较争气的存在。
“成了!”
“一次出片成功,比我预想的还要顺利!”
“不愧是昆仑集团啊,临时加进来的光学系统,竟然和旧机台配合的这么好!”
实验室里,穿着全套无尘服的工程师,取下十二寸硅晶圆,仔细看,会发现上面出现了密密麻麻,无比繁杂的线条,灯光下亮晶晶的,甚是喜人。 ↑返回顶部↑